Download or read book ELABORATION ET CARACTERISATION DE COUCHES MINCES DE NITRURE DE TITANE OBTENUES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PRESSION REDUITE ET CHAUFFAGE RAPIDE ETUDES THERMODYNAMIQUE ET CINETIQUE written by Luc Imhoff and published by . This book was released on 1997 with total page 159 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE TRAITE DU DEPOT DE FILMS DE NITRURE DE TITANE (TIN) ELABORES PAR REACTION CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE (CVD) EN UTILISANT LES PRECURSEURS SUIVANTS : TETRACHLORURE DE TITANE (TICI#4), AMMONIAC (NH#3) ET HYDROGENE (H#2). LES FILMS SONT REALISES DANS UN REACTEUR ALLIANT LES AVANTAGES DE LA CVD BASSE PRESSION (LPCVD) A CEUX DE LA METHODE DE TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE (RTP). DES CALCULS THERMODYNAMIQUES SONT EFFECTUES DANS LE BUT DE DETERMINER L'INFLUENCE DES PARAMETRES EXPERIMENTAUX AINSI QUE DE LA NATURE DE LA SURFACE SUR LAQUELLE LE DEPOT A LIEU. LES MEILLEURS RENDEMENTS THERMODYNAMIQUES DE FORMATION DE TIN SONT OBTENUS POUR UNE PHASE GAZEUSE RICHE EN AMMONIAC AVEC UNE TEMPERATURE PROCHE DE 1100 K. UN BILAN REACTIONNEL EST PROPOSE DANS LEQUEL LE SOUS-CHLORURE TICI#3 APPARAIT COMME LE REACTIF PREDOMINANT. UNE ETUDE CINETIQUE EST DEVELOPPEE AFIN D'EXPLIQUER LA CROISSANCE DU TIN PAR CE PROCEDE. ELLE ABOUTIT A UN MODELE QUI PERMET D'EXPLIQUER A LA FOIS LES RESULTATS DE CETTE ETUDE ET LES RESULTATS PARFOIS CONTRADICTOIRES REPORTES PAR LA LITTERATURE. CE MODELE MONTRE QUE LE MECANISME DE DEPOT EST CONTROLE PAR LES ADSORPTIONS COMPETITIVES DU TICI#4 ET DE NH#3, ET MET L'ACCENT SUR L'IMPORTANCE DE LA GEOMETRIE D'INJECTION DES GAZ. LES DEPOTS SONT CARACTERISES PAR DIFFRACTION DE RAYONS X, RBS, XPS, MESURE DE LA RESISTIVITE ET MESURE DE L'ADHERENCE PAR L'ESSAI DE RAYURE. ILS SONT TOUJOURS TEXTURES (ORIENTATIONS CRISTALLOGRAPHIQUES 111 ET 200), STOECHIOMETRIQUES ET ADHERENTS. L'INCORPORATION D'OXYGENE EST COMPRISE ENTRE 1 ET 10%. LE CHLORE N'EST JAMAIS DETECTE. LES VALEURS DE RESISTIVITE OBTENUES SONT COMPRISES ENTRE 20 ET 300 .CM. A L'AIDE DE CES RESULTATS, UN PROCEDE EXPERIMENTAL PERMETTANT DE CONTROLER L'ORIENTATION CRISTALLINE DES FILMS A BASSE TEMPERATURE, TOUT EN CONSERVANT LES PROPRIETES ENONCEES, EST PROPOSE.

Download or read book Elaboration de couches de nitrure de titane par d p t chimique partir de la phase gazeuse written by Hélène de Baynast and published by . This book was released on 2000 with total page 386 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Cette étude porte sur l'élaboration et la caractérisation des films de nitrure de titane déposés sur silicium par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à partir des précurseurs: tétrachlorure de titane (TiC14), ammoniac (NH3) et hydrogène (H2). Les films sont réalisés dans un réacteur basse pression à chauffage rapide (RTLPCVD). Deux procédés de dépôt ont été proposés: un procédé monocycle et un procédé multicyle, ainsi que deux groupes de paramètres: le groupe 1 avec une haute température de dépôt (800ʿC) et une phase gazeuse riche en ammoniac et le groupe 2 avec une faible température de dépôt (500ʿC) et une phase gazeuse pauvre en ammoniac. Le principe de dépôt CVD repose sur des phénomènes d'adsorption, de diffusion et de germination. L'étude des coefficients de sursaturation et des énergies libres de surface a permis de calculer les rayons des germes critiques. Des hypothèses sur les modes de croissance ont été émises: la germination des couches élaborées avec les paramètres du groupe 1 se ferait selon le mode de croissance 2D-3D alors que la germination des couches élaborées avec les paramétres du groupe 2 se ferait selon le mode de croissance 3D. Les dépôts ont été caractérisés par diffraction X, RBS, XPS, mesure de résistivité, spectrocolorimétrie, rugosité de surface et comportement tribologique. Les dépôts obtenus sont stoechiométriques, cristallisés et texturés avec une orientation cristallographique 111 pour les dépôts du groupe 1 et 200 pour les dépôts du groupe 2. L'analyse des films par diffraction X a montré que le paramètre de maille des couches variait par rapport au paramètre théorique selon les groupes de paramètres et le procèdé utilisé. Les analyses chimiques ont révélé la présence d'oxygène à l'intérieur des couches probablement aux joints de grains et aux interfaces. Un rapprochement entre couleur des couches, paramètres de dépôt, procédé d'élaboration, défauts cristallographiques et rugosité de surface a été proposé.

Download or read book DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR DE COUCHES MINCES DE TI AL N A COMPOSITION VARIABLE written by STEPHANIE.. ANDERBOUHR and published by . This book was released on 1999 with total page 170 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES COUCHES MINCES DE NITRURES ONT ETE LARGEMENT INTEGREES DANS DIFFERENTS SECTEURS INDUSTRIELS STRATEGIQUES COMME LA MICROELECTRONIQUE ET LE DOMAINE DE L'OUTILLAGE MECANIQUE. DANS CES DOMAINES, LE NITRURE DE TITANE RESTE UN MATERIAUX DE CHOIX. TOUTEFOIS, DANS LE DOMAINE DES REVETEMENTS DURS, DE PART SA FAIBLE RESISTANCE A L'OXYDATION, IL EST PROGRESSIVEMENT REMPLACE PAR DES NITRURES TERNAIRES TEL LE NITRURE DE TITANE-ALUMINIUM. CETTE ETUDE S'EST PORTEE SUR L'ELABORATION DE REVETEMENTS DURS DE TIN, ALN, ET ESSENTIELLEMENT DE (TI,AL)N PAR DEUX PROCEDES SPECIFIQUES DE DEPOT CVD UTILISANT DES CHLORURES GAZEUX GENERES PAR CHLORURATION IN SITU D'UNE CHARGE METALLIQUE : UN PROCEDE BASSE PRESSION ACTIVE THERMIQUEMENT (LPCVD) ET UN PROCEDE ASSISTE PAR PLASMA (PACVD). L'OPTIMISATION DES PROCEDES A ETE PREALABLEMENT MENEE PAR UN ETUDE THERMODYNAMIQUE DU SYSTEME CHIMIQUE TI-AL-N-H-CL. LES DIAGRAMMES D'EQUILIBRE DES PHASES STABLES ET METASTABLES DU SYSTEME TERNAIRE TI-AL-N ONT ETE ETABLIS A DIFFERENTES TEMPERATURES. LES EQUILIBRES OBTENUS SONT POUR LA PLUPART EN ACCORD AVEC LES RESULTATS EXPERIMENTAUX. LA MISE AU POINT DES PROCEDES D'ELABORATION ET L'OPTIMISATION DES CONDITIONS OPERATOIRES A ETE EFFECTUEE DANS LE BUT DE CONTROLER LA COMPOSITION DES DEPOTS ET D'OBTENIR IN FINE DES REVETEMENTS PRESENTANT LES MEILLEURES PROPRIETES MECANIQUES ET DE RESISTANCE A L'OXYDATION A HAUTE TEMPERATURE (850\C). L'ETUDE MICROSTRUCTURALE DES DEPOTS LPCVD ET PACVD A MONTRE QUE LA PHASE DEPOSEE EST LA SOLUTION SOLIDE (TI,AL)N DE STRUCTURE CFC AVEC PRESENCE D'UNE PHASE HEXAGONALE AUX PLUS FORTES TENEURS EN AL ET QUE LA LIMITE DE STABILITE (CUBIQUE/HEXAGONALE) DU MELANGE DEPEND DE LA TECHNIQUE DE DEPOT ADOPTEE. DES RESULTATS PROBANTS EN TERME DE RESISTANCE A L'OXYDATION ET DE RESISTANCE A L'USURE ET AU FROTTEMENT ONT ETE OBTENUS POUR LES DEPOTS DE (TI,AL)N A FORTE TENEUR EN ALUMINIUM.

Download or read book ELABORATION DE COUCHES MINCES DE TI AL N PAR OMCVD written by SANDRA.. GILLES and published by . This book was released on 1997 with total page 163 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES COUCHES MINCES DE (TI, AL)N FONT L'OBJET D'ATTENTIONS PARTICULIERES A CAUSE DE L'AMELIORATION SIGNIFICATIVE DE LA RESISTANCE A L'OXYDATION QU'ELLES PRESENTENT PAR RAPPORT AUX REVETEMENTS DURS DE TIN. NOUS AVONS TESTE L'UTILISATION DE PRECURSEURS ORGANO-METALLIQUES POUR SYNTHETISER DES FILMS DE (TI, AL)N A DES TEMPERATURES INFERIEURES A 400 C PAR LA TECHNIQUE DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR OMCVD. LES PRECURSEURS CHOISIS SONT LE TETRADIMETHYLAMIDE DE TITANE (TDMAT), L'HEXADIMETHYLAMIDE DE DIALUMINIUM (HDMADA) ET LE TRI-ISOBUTYL ALUMINIUM (TIBA). COMPTE TENU DES DONNEES THERMODYNAMIQUES DISPONIBLES, NOUS AVONS PU, A L'AIDE D'UN PROGRAMME DE SIMULATIONS THERMODYNAMIQUES, DETERMINER CERTAINES PLAGES DE PARAMETRES FAVORABLES AU DEPOT DE PHASES PURES DE NITRURES DE TITANE - ALUMINIUM. LES DIAGRAMMES D'EQUILIBRE DE PHASES STABLES ET METASTABLES DU SYSTEME TERNAIRE TI-AL-N ONT ETE ETABLIS ENTRE 200 ET 1600 C. L'ETUDE EXPERIMENTALE DES DEPOTS DES PHASES BINAIRES TIN ET AIN NOUS A PERMIS D'OPTIMISER LES PARAMETRES ET DE VOIR LEUR INFLUENCE SUR LA CONTAMINATION DES FILMS. EN FONCTION DE CES RESULTATS LES DEPOTS DE (TI,AL)N ONT ETE REALISES A L'AIDE DE DEUX MELANGES REACTIONNELS : - TETRADIMETHYLAMIDE DE TITANE + HEXADIMETHYLAMIDE DE DIALUMINIUM + AMMONIAC - TETRADIMETHYLAMIDE DE TITANE + TRI-ISOBUTYL ALUMINIUM + AMMONIAC LE PREMIER MELANGE REACTIONNEL NOUS A PERMIS DE DEPOSER A BASSE TEMPERATURE (400 C) A UNE PRESSION DE 25 MBAR, DES FILMS DE (TI,AL)N ; DE STRUCTURE CUBIQUE, CES FILMS SONT COMPOSES DE GRAINS DE TAILLE NANOMETRIQUE. LE PARAMETRE LE PLUS INTERESSANT POUR FAIRE VARIER LE RAPPORT AL/TI EST LE DEBIT D'AMMONIAC. LE DEUXIEME MELANGE REACTIONNEL SEMBLE PRATIQUE POUR DEPOSER DES MULTICOUCHES TIN/ALN.

Download or read book Elaboration de couches de TiN par d p t chimique en phase gazeuse written by Hélène de Baynast and published by Editions Universitaires Europeennes. This book was released on 2012 with total page 232 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Ce travail porte sur l'elaboration et la caracterisation des films de nitrure de titane deposes sur silicium par CVD a partir des precurseurs: tetrachlorure de titane (TiCl4), ammoniac (NH3) et hydrogene (H2). Les films sont realises dans un reacteur basse pression a chauffage rapide (RTLPCVD). Deux procedes de depot ont ete proposes: un monocycle et un multicycle, ainsi que deux groupes de parametres: le groupe 1 avec une haute temperature de depot (800 C) et une phase gazeuse riche en ammoniac et le groupe 2 avec une faible temperature de depot (500 C) et une phase gazeuse pauvre en ammoniac. L'etude des coefficients de sursaturation et des energies libres de surface a permis de calculer les rayons des germes critiques. Des hypotheses sur les modes de croissance ont ete emises: la germination des couches elaborees avec les parametres du groupe 1 se ferait selon le mode de germination 2D-3D alors que la germination des groupes elaborees avec les parametres du groupe 2 se ferait selon le mode de croissance 3D. Les depots ont ete caracterises par diffraction X, RBS, XPS, mesure de resistivite, spectrocolorimetrie, rugosite de surface et comportement tribologique.

Download or read book ETUDE DE BICOUCHES DE CARBONE ET DE DIBORURE DE TITANE ELABOREES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR SOUS PRESSION REDUITE APPLICATION AUX REVETEMENTS DE TORONS DE FIBRES DE CARBONE POUR COMPOSITES A MATRICE METALLIQUE written by Pierre Bertrand and published by . This book was released on 1996 with total page 135 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE MANUSCRIT PRESENTE L'ETUDE D'UNE PROTECTION SUR LES FIBRES DE CARBONE, POUR DES APPLICATIONS DANS LES COMPOSITES A MATRICE ALUMINIUM, COMPOSEE D'UN REVETEMENT BICOUCHE DE CARBONE PYROLYTIQUE + DIBORURE DE TITANE (CP+TIB#2). CETTE SOLUTION A ETE ADOPTEE DANS LE BUT DE DECOUPLER, AU NIVEAU DE L'INTERPHASE FIBRE/MATRICE, LES FONCTIONS PHYSICO-CHIMIQUES (MOUILLAGE ET BARRIERE CHIMIQUE) DES FONCTIONS MECANIQUES (ROLE DE FUSIBLE MECANIQUE). UN REACTEUR DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE GAZEUSE PERMETTANT L'EMPLOI DE PRECURSEURS CHLORES A TOUT D'ABORD ETE CONCU POUR REALISER LE REVETEMENT DE DIBORURE DE TITANE. DES ETUDES CINETIQUES ET MORPHOLOGIQUES SUR CHACUN DE CES REVETEMENTS (CP ET TIB#2) ONT ETE MENEES AFIN DE METTRE AU POINT LES CONDITIONS FAVORABLES AU PROCESSUS D'INFILTRATION DE TRORONS DE PLUSIEURS MILLIERS DE FILAMENTS. AINSI, DANS LE CAS DU DEPOT DE CARBONE, IL APPARAIT QUE LA DECOMPOSITION RADICALAIRE DU PRECURSEUR (C#2H#4) DANS LA PHASE GAZEUSE EST L'ETAPE LIMITANT LA CINETIQUE DE DEPOT. DE PLUS, LA MICROSTRUCTURE DE CE REVETEMENT SEMBLE ETRE TRES LIEE A LA NATURE DES CHAINES HYDROCARBONEES PRESENTES DANS LA PHASE GAZEUSE. DANS LE CAS DU DEPOT DE TIB#2, DES ETUDES THERMODYNAMIQUE ET CINETIQUE ONT MONTRE LE DOMAINE ETROIT DE CONCENTRATION (TICL#4/BCL#30,5) NECESSAIRE POUR OBTENIR UNE VITESSE DE DEPOT IMPORTANTE ET EVITER LE CO-DEPOT DE BORE. LA RECHERCHE DES MECANISMES LIMITANTS A MIS EN EVIDENCE L'INFLUENCE DU RAPPORT TICL#4/BCL#3 SUR L'ETAPE RESPONSABLE DE LA CROISSANCE DU DEPOT SUGGERANT AINSI, QUE DEUX MECANISMES REACTIONNELS, TOUS LES DEUX DANS LE CADRE DES REACTIONS DE SURFACE, POURRAIENT CONTROLER CETTE CROISSANCE. L'ESTIMATION DES CONTRAINTES D'ORIGINE THERMIQUE DANS LES SYSTEMES FIBRE+DEPOTS SUITE A LEUR ELABORATION MONTRE QUE DES CONTRAINTES AXIALES ALLANT JUSQU'A 2000MPA DANS LE REVETEMENT DE TIB#2 NE CONDUISE PAS EXPERIMENTALEMENT A SA FISSURATION. CEPENDANT, UN ENDOMMAGEMANT DE LA CONTRAINTE A RUPTURE DU MONOFILAMENT DE CARBONE REVETU DE TIB#2 EST ENREGISTRE. IL EST APPARU, EN EFFET, QUE LA PRESENCE D'UNE COUCHE FRAGILE CONTRIBUE A DIMINUER LA RESISTANCE A RUPTURE DE LA FIBRE REVETUE. NEANMOINS, DANS LE CAS DU DEPOT DOUBLE COUCHE, IL SEMBLE POSSIBLE D'OBTENIR UN COMPROMIS, QUI PERMETTE D'ASSURER LA PROTECTION DE LA FIBRE TOUT EN CONSERVANT LES PROPRIETES DU MONOFILAMENT INITIAL, EN MAINTENANT UNE EPAISSEUR DE TIB#2 SUFFISAMMENT FAIBLE (

Download or read book tude de couches minces pr par es par d p t chimique en phase vapeur partir du compos de coordination tris 2 2 bipyridine titane 0 written by Roland Morancho and published by . This book was released on 1980 with total page 322 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book Etude de compos s organom talliques du titane pr curseurs de carbures nitrures et siliciures par d p t chimique en phase vapeur written by Benoit Chansou and published by . This book was released on 1996 with total page 149 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LE RECOUVREMENT DE PIECES MASSIVES PAR DES FILMS MINCES CERAMIQUES PERMET D'AJOUTER DES PROPRIETES DE SURFACE (MECANIQUE, ELECTRONIQUE, OPTIQUE,) AUX PROPRIETES DE VOLUME INHERENTES A LA PIECE. PARMI LES NOMBREUSES TECHNIQUES PERMETTANT LA REALISATION DES FILMS CERAMIQUES, L'O.M.C.V.D. (DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A PARTIR DE COMPOSES ORGANOMETALLIQUES) POSSEDE LE DOUBLE AVANTAGE DE PERMETTRE DES DEPOTS A BASSE TEMPERATURE ET SUR DES PIECES DE FORMES COMPLEXES. CE MEMOIRE REND COMPTE DE LA SYNTHESE ET DE L'ETUDE DE COMPOSES ORGANOMETALLIQUES PRECURSEURS POTENTIELS DE CARBURES, NITRURES ET SILICIURES DE TITANE. L'ETUDE DU COMPORTEMENT THERMIQUE DES COMPOSES SYNTHETISES, EFFECTUEE PAR ANALYSE THERMIQUE GRAVIMETRIQUE ET ANALYSE THERMIQUE DIFFERENTIELLE, COUPLEES A DE LA SPECTROMETRIE DE MASSE, PERMET D'ETUDIER LE TRANSPORT DES COMPOSES EN PHASE GAZEUSE ET LA CORRELATION ENTRE LES PRODUITS ISSUS DE LEUR DECOMPOSITION ET LES CERAMIQUES DESIREES. CES ETUDES SONT MISES A PROFIT LORS DE LA REALISATION DES DEPOTS PAR C.V.D. EN PERMETTANT UN CHOIX JUDICIEUX DES PARAMETRES EXPERIMENTAUX. LES TECHNIQUES D'ANALYSE DE SURFACE HABITUELLES (M.E.B., E.D.S., E.P.M.A., X.P.S., R.X.) SONT UTILISEES POUR LA CARACTERISATION DES DEPOTS

Download or read book laboration du carbure et du nitrure de titane par des proc d s chimiques et physiques en phase vapeur written by Javier-Arturo Montes De Oca-Valero and published by . This book was released on 2002 with total page 166 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Le carbure et le nitrure de titane ont été élaborés par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur. Ces procédés ont permis l'obtention d'un revêtement céramique épais et dense en vue de la protection d'un dispositif métallique en tungstène. L'influence des différents paramètres expérimentaux, propres à chaque procédé, a été étudiée sur la germination, la microstructure et la texturation des revêtments, tout en intégrant l'interaction avec le substrat. L'analyse des contraintes résiduelles, réalisée par la méthode de sin2Psy, a permis d'expliquer le comportement vis-à-vis de la fissuration de différents dépôts.

Download or read book Etude de couches minces prepar es par d p t chimique en phase vapeur partir du compose de coordination tris 2 2 bipyridine titane O written by Roland Morancho and published by . This book was released on 1980 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book laboration et carct risation de couches minces de nitrures et carbure sur titane obtenues par r action plasma H F written by Mohamed Kabbaj and published by . This book was released on 1988 with total page 176 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: INFLUENCE DES PARAMETRES DU PLASMA SUR LA NATURE ET LA MORPHOLOGIE DES COUCHES AINSI QUE SUR LES CINETIQUES DE CROISSANCE DANS LE CAS DES PLASMAS N#2, NH#3 ET CH#4. ON MONTRE PAR ANALYSE PAR MICROSCOPIE ELECTRONIQUE A BALAYAGES ET PAR SPECTROMETRIE DE MASSE D'IONS SECONDAIRES QUE LES COUCHES DE NITRURES ET DE CARBURES SONT HOMOGENES ET UNIFORMES. PROPOSITION D'UN MECANISME DE NITRURATION PAR PLASMA H.F.

Download or read book Synth se de nanotubes de carbone multi parois par d p t chimique en phase vapeur catalytique en lit fluidis written by Régis Philippe and published by . This book was released on 2006 with total page 272 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Produire à grande échelle des nanotubes de carbone en maîtrisant les principaux paramètres de croissance et la morphologie de ces matériaux est un enjeu important en vue de l’exploitation industrielle de ces matériaux nanostructurés dans de nombreux domaines tels que l’élaboration de composites ou le stockage d’énergie. C’est dans ce contexte que s’inscrit ce travail basé sur la technique de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) mis en œuvre dans un procédé faisant appel à un lit fluidisé de particules catalytiques (FB-CCVD). Dans un premier temps, nous avons mis au point, testé et caractérisé plusieurs catalyseurs en faisant varier leur méthode de préparation, la phase active et le support. Ceci nous a permis de dégager et de sélectionner un catalyseur optimal en tenant compte des performances catalytiques rencontrées et des contraintes imposées par l’emploi d’un lit fluidisé. Le catalyseur retenu, est constitué de fer supporté sur un support d’alumine et est préparé également par dépôt chimique en phase vapeur en lit fluidisé, à partir de ferrocène, sous pression réduite et en présence d’air. Il conduit à l’obtention massive de nanotubes de carbone multiparois, alignés sur le support, constituant une gangue enrobant la surface des grains catalytiques. Par la suite, dans le cadre d’une étude cinétique, nous avons étudié l’influence des paramètres principaux de la réaction catalytique de formation des nanotubes de carbone à partir d’éthylène sur les caractéristiques physiques du lit fluidisé, l’efficacité du procédé et la qualité des nanotubes produits. Les informations cinétiques et morphologiques collectées, associées à un modèle de bullage de type Kato et Wen, ont ensuite permis l’élaboration d’un modèle global du réacteur de synthèse de nanotubes de carbone en lit fluidisé à partir de notre catalyseur. Ce modèle permet de prédire les performances du procédé en fonction des conditions expérimentales appliquées mais aussi l’évolution des caractéristiques physiques de la poudre composite obtenue. Enfin, dans une dernière partie, nous tentons de proposer une première explication du fonctionnement spécifique de notre catalyseur et de son évolution au cours de la synthèse des nanotubes de carbone alignés sur poudre.

Download or read book Etude et caract risation des rev tements de nitrure de titane obtenus par d p t ionique written by Annick Rousseau-Giot and published by . This book was released on 1984 with total page 156 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: ETUDE ET CONCEPTION D'UN DISPOSITIF DE PLACAGE IONIQUE DESTINE A LA REALISATION DE REVETEMENTS DE NITRURE DE TITANE. REALASATION DE COUCHES POSSEDANT LES PROPRIETES REQUISES PAR LES APPLICATIONS ANTI-USURE ET ETUDE DES MECANISMES MIS EN JEU PENDANT LA CROISSANCE DES DEPOTS. ETUDE DE LA MORPHOLOGIE, DE LA MICRODURETE ET DE L'ADHERENCE DES COUCHES

Download or read book R alisation de couches minces de nitrure de titane par d p t ionique avec vaporation laser du titane written by Luc Vergnaud and published by . This book was released on 1994 with total page 106 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES TRAVAUX CONCERNENT L'ETUDE ET L'OPTIMISATION D'UN SYSTEME DE DEPOT DE COUCHES MINCES ANTI-USURE UTILISANT UNE SOURCE D'EVAPORATION PAR LASER PULSE, DANS LE BUT DE POUVOIR DEPOSER CES COUCHES MINCES A L'INTERIEUR DE TUBES DE FAIBLES DIAMETRES, LES TECHNIQUES CLASSIQUES NE LE PERMETTANT PAS. TOUT D'ABORD, LE CHOIX DU MATERIAU DE DEPOT LE NITRURE DE TITANE EST JUSTIFIE ET SES PRINCIPALES PROPRIETES DECRITES. LE BUT DE CE TRAVAIL ETANT D'ESSAYER DE COMPRENDRE ET DE MAITRISER CETTE METHODE DE DEPOT, UNE SYNTHESE DES TRAVAUX REALISES SUR L'INTERACTION LASER-MATIERE EST PRESENTEE, AFIN D'EXPLIQUER LES PHENOMENES MIS EN JEU PUIS DEFINIR LES PARAMETRES IMPORTANTS. NOUS NOUS SOMMES ENSUITE ATTACHES A REALISER PUIS OPTIMISER UNE SOURCE D'EVAPORATION LASER PERMETTANT D'OBTENIR DES DEPOTS DE BONNE QUALITE. A PARTIR DE LA, ET APRES AVOIR EXPLIQUE LE FONCTIONNEMENT DU SYSTEME DE DEPOT UTILISE, NOUS AVONS REALISE DES COUCHES MINCES EN FAISANT VARIER LES DIFFERENTS PARAMETRES PRESSION, TEMPERATURE DE SUBSTRAT, POLARISATION DU SUBSTRAT, VITESSE DE DEPLACEMENT DE LA CIBLE, CYCLE DE NETTOYAGE. LES PROPRIETES DES DEPOTS OBTENUS SONT ALORS DECRITES PUIS ANALYSEES AFIN DE DETERMINER LES PARAMETRES OPTIMAUX POUR L'OBTENTION DE COUCHES ANTI-USURE A L'INTERIEUR DE TUBES DE FAIBLES DIAMETRES

Download or read book D p t chimique en phase vapeur de couches minces de nickel partir de pr curseurs m tal organiques written by Laurent Brissonneau and published by . This book was released on 1998 with total page 197 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: DES COUCHES MINCES DE NICKEL ONT ETE ELABOREES PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, A PARTIR DE DEUX PRECURSEURS METAL-ORGANIQUES. IL N'A PAS ETE CHERCHE A OPTIMISER LES CONDITIONS D'ELABORATION MAIS A COMPRENDRE L'INFLUENCE DES PARAMETRES SUR LES PROPRIETES DES DEPOTS. LE NICKELOCENE, NI(C#5H#5)#2, PRECURSEUR DE NICKEL CLASSIQUE, A SERVI DE SYSTEME MODELE. LES ETUDES CORRELEES DU MATERIAU ET DE LA PHASE GAZEUSE ONT PERMIS DE PROPOSER DES MECANISMES POUR LE DEPOT. ILS ONT EGALEMENT ETE APPUYES PAR DES CALCULS THERMODYNAMIQUES D'EQUILIBRE PARTIELS. LA VITESSE DE DEPOT EST OPTIMALE ET CONSTANTE POUR DES TEMPERATURES ASSEZ BASSES, ENTRE 150-200C. A DES TEMPERATURES SUPERIEURES, LA DESORPTION EST TROP RAPIDE POUR QUE LE DEPOT AIT LIEU. LA VITESSE DE DEPOT DEPEND DE LA DIFFUSION DU PRECURSEUR DANS LA COUCHE LIMITE ET DE LA CONCENTRATION D'HYDROGENE EN SURFACE. POUR DE FORTES CONCENTRATIONS DE PRECURSEURS EN SURFACE, L'HYDROGENE NE PEUT PLUS S'ADSORBER ET LA VITESSE DE LA REACTION DIMINUE (CINETIQUE DE LANGMUIR-INSHELWOOD). DE PLUS, DES REACTIONS ENTRE MOLECULES DE PRECURSEURS SONT FAVORISEES. ELLES PROVOQUENT L'INCORPORATION DU CARBONE DANS LES DEPOTS DE NICKEL, QUI EST UN DES PROBLEMES MAJEURS LIES A L'UTILISATION DE CE PRECURSEUR. LE SECOND PRECURSEUR, NI(DMEN)#2(CF#3COO)#2, A ETE SYNTHETISE AU LABORATOIRE. LES DEPOTS SE FONT ENTRE 275 ET 350C. LA VITESSE DE DEPOT EST LENTE, CONTROLEE PAR L'APPORT EN PRECURSEUR DE LA PHASE GAZEUSE (LIE A LA FAIBLE VOLATILITE DU PRECURSEUR) ET PAR LA REACTION DE SURFACE. ELLE EST DONC FAVORISEE PAR L'AUGMENTATION DE LA TEMPERATURE OU L'AUGMENTATION DE LA CONCENTRATION DE H#2 DANS LA PHASE GAZEUSE. LA TENEUR EN CARBONE DES COUCHES EST IMPORTANTE. ELLE AUGMENTE POUR LES FORTES TEMPERATURES OU LES FAIBLES CONCENTRATIONS EN HYDROGENE DANS LA PHASE GAZEUSE. LA PHASE CARBURE DE NICKEL PEUT SE FORMER, SEULE OU AVEC DU NICKEL. LES AUTRES HETEROELEMENTS SONT PRESENTS EN TRES FAIBLES QUANTITES. DES PISTES SONT DONNEES POUR L'AMELIORATION DES CONDITIONS DE MANIPULATION ET POUR LA MODIFICATION CHIMIQUE DU PRECURSEUR.