Download or read book R alisation et tude de films minces d oxyde d yttrium Y2O3 written by Fabien Paumier and published by . This book was released on 2003 with total page 221 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les films minces d'oxyde d'yttrium Y2O3 sont réalisés par pulvérisation par faisceau d'ions (PFI) en vue d'application dans les structures MOS. Les films obtenus sous des conditions de dépôts classiques (argon 1,2 keV, 5 sccm en O2) présentent une forte contrainte de compression. Cette contrainte a pour origine le peening effect. l'hypothèse d'une transition ordre-désordre du sous réseau anionique est introduite. La phase désordonnée, à l'origine de la contrainte, est assimilable à une structure de type fluorine (Fm3m). Une étude par microscopie électronique des films sur des substrats modèles d'oxyde met en évidence la coexistence de deux phases cubiques (Fm3m et Cubique-C) et une phase monoclinique. Une étude des réactions d'interface Y2O3/Si en fonction de recuits (air et vide) par HRTEM met en évidence la formation d'un silicate et une possibilité de réduction de SiOx par Y2O3. Les résultats montrent le lien entre propriétés diélectriques, interface et transition Fm3m®Cubique-C .