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Book MECANISMES DE CROISSANCE DE DIELECTRIQUES PAR NITRURATION ET PAR OXYDATION THERMIQUE RAPIDE DU SILICIUM

Download or read book MECANISMES DE CROISSANCE DE DIELECTRIQUES PAR NITRURATION ET PAR OXYDATION THERMIQUE RAPIDE DU SILICIUM written by JEAN-JACQUES.. GANEM and published by . This book was released on 1992 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ETUDE DES MECANISMES DE CROISSANCE DE NITRURE DE SILICIUM PAR TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE A ETABLI L'EXISTENCE D'UN REGIME INITIAL RAPIDE, ASSOCIE A LA NITRURATION DE L'INTERFACE SILICIUM/DIELECTRIQUE, SUIVI D'UN REGIME PLUS LENT LIMITE PAR LE TRANSPORT DES ESPECES NITRURANTES, DANS UNE SEULE DIRECTION, A TRAVERS LE FILM FORME. LA NITRURATION DE L'OXYDE DE SILICIUM EST CARACTERISEE PAR LA DIFFUSION DES ESPECES QUI REAGISSENT AVEC LA SILICE. L'OBSERVATION DE L'OXYDATION THERMIQUE RAPIDE DU SILICIUM, REALISEE SOUS ATMOSPHERE STATIQUE D'OXYGENE ISOTOPIQUEMENT MARQUE, SUGGERE UNE EXPLICATION QUI RENDRAIT COMPTE DU REGIME INITIAL RAPIDE: L'APPARITION, DANS LES PREMIERES SECONDES, DE DEBRIS DE SILICIUM CRISTALLIN DANS L'OXYDE FORME

Book Proc  d  s thermiques rapides pour la r  alisation de di  lectriques ultraminces sur silicium  Caract  risation par spectroellipsom  trie

Download or read book Proc d s thermiques rapides pour la r alisation de di lectriques ultraminces sur silicium Caract risation par spectroellipsom trie written by NATHALIE.. GONON and published by . This book was released on 1993 with total page 137 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: La réalisation de diélectriques ultraminces inférieurs à 10 nm, est nécessaire dans plusieurs domaines: la microélectronique ou la réduction continuelle des dimensions des circuits intégrés mos implique l'utilisation de diélectriques de plus en plus minces et dans celui des hétérostructures capacitives pour capteurs biologiques. L'oxydation thermique du silicium est le procédé le plus performant pour la réalisation des dispositifs pré-cités. Récemment, une technique de croissance à très hautes températures et a temps d'oxydation très courts s'est développée avec l'arrivée des procédés thermiques rapides. Des couches diélectriques ultra-minces sur silicium ont été réalisées par oxydation thermique rapide sous O#2 et sous N#2O à pression proche de la pression atmosphérique. La caractérisation de ces couches a été faite par spectroellipsométrie. Celle-ci nous a permis de mettre en évidence un régime de croissance initial rapide, avec toutefois un ralentissement de cette croissance pour les oxydes faits sous N#2O, ainsi qu'un indice des couches réalisées plus élevé que celui de la silice standard. Des analyses complémentaires (spectroscopie Auger, sonde ionique, mesures électriques) ont confirmé cet indice élevé et ont révélé un problème d'interface. Elles nous ont permis d'émettre des hypothèses quant a l'origine des indices élevés (densification, présence d'une couche interfaciale SIO#2, silicium en excès a l'interface) et la croissance des oxydes RTO (croissance volumique)

Book ETUDE DE LA CROISSANCE DE FILMS MINCES OBTENUS PAR OXYDATION ET NITRURATION THERMIQUES DU SILICIUM POREUX

Download or read book ETUDE DE LA CROISSANCE DE FILMS MINCES OBTENUS PAR OXYDATION ET NITRURATION THERMIQUES DU SILICIUM POREUX written by VALERIE.. MORAZZANI and published by . This book was released on 1996 with total page 185 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE MEMOIRE PRESENTE UNE ETUDE EXPERIMENTALE DETAILLEE DE L'OXYDATION ET DE LA NITRURATION THERMIQUE SOUS OXYGENE SEC AINSI QUE DE LA NITRURATION SOUS AMMONIAC A HAUTE TEMPERATURE DE COUCHES DE SILICIUM POREUX, PREALABLEMENT OXYDEES A BASSE TEMPERATURE. CES TRAVAUX ONT ETE REALISES DANS LE BUT TECHNOLOGIQUE D'AMELIORER LES RENDEMENTS DE LUMINESCENCE. D'UN POINT DE VUE FONDAMENTAL, ILS SERVENT AUSSI POUR TESTER LA VALIDITE DES MODELES PROPOSES RELIANT LA POSITION DES SPECTRES DE LUMINESCENCE AVEC LA TAILLE DES CRITALLITES. PAR AILLEURS, LA TRES GRANDE SURFACE INTERNE DEVELOPPEE DANS CES COUCHES A PERMIS D'ETUDIER AVEC UNE GRANDE SENSIBILITE DES COUCHES DE SILICE ET D'OXYNITRURE TRES MINCES, D'EPAISSEUR INFERIEURE A 5 NANOMETRES, ET DE DETERMINER LEUR COMPOSITION, LA NATURE DES LIAISONS CHIMIQUES D'INTERFACE, AINSI QUE LES DEFAUTS D'INTERFACE ET DE VOLUME CONTENUS DANS CES STRUCTURES

Book Flexoelectricity in Liquid Crystals

Download or read book Flexoelectricity in Liquid Crystals written by Agnes Buka and published by World Scientific. This book was released on 2013 with total page 299 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The book intends to give a state-of-the-art overview of flexoelectricity, a linear physical coupling between mechanical (orientational) deformations and electric polarization, which is specific to systems with orientational order, such as liquid crystals. Chapters written by experts in the field shed light on theoretical as well as experimental aspects of research carried out since the discovery of flexoelectricity. Besides a common macroscopic (continuum) description the microscopic theory of flexoelectricity is also addressed. Electro-optic effects due to or modified by flexoelectricity as well as various (direct and indirect) measurement methods are discussed. Special emphasis is given to the role of flexoelectricity in pattern-forming instabilities. While the main focus of the book lies in flexoelectricity in nematic liquid crystals, peculiarities of other mesophases (bent-core systems, cholesterics, and smectics) are also reviewed. Flexoelectricity has relevance to biological (living) systems and can also offer possibilities for technical applications. The basics of these two interdisciplinary fields are also summarized.

Book Nonlinear Optical Materials

Download or read book Nonlinear Optical Materials written by Jerome V. Moloney and published by Springer Science & Business Media. This book was released on 1998-08-13 with total page 270 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Mathematical methods play a significant role in the rapidly growing field of nonlinear optical materials. This volume discusses a number of successful or promising contributions. The overall theme of this volume is twofold: (1) the challenges faced in computing and optimizing nonlinear optical material properties; and (2) the exploitation of these properties in important areas of application. These include the design of optical amplifiers and lasers, as well as novel optical switches. Research topics in this volume include how to exploit the magnetooptic effect, how to work with the nonlinear optical response of materials, how to predict laser-induced breakdown in efficient optical devices, and how to handle electron cloud distortion in femtosecond processes.