Download or read book OBTENTION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES written by ANNE.. BOUTEVILLE RICHARD and published by . This book was released on 1987 with total page 152 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES SONT UTILISES EN MICROELECTRONIQUE. LE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR PERMET UN EXCELLENT RECOUVREMENT DE MARCHE ET LA POSSIBILITE DE DEPOT SELECTIF. CETTE ETUDE TRAITE DE L'OBTENTION PAR CETTE METHODE A BASSE PRESSION DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE TA ET DE TI ET DE LEUR ETUDE. MISE AU POINT DU PROCEDE, INFLUENCE D'UN TRAITEMENT DE RECUIT ET ETUDE DU MECANISME DE CROISSANCE
Download or read book Contribution l tude des siliciures de m taux r fractaires en couches minces written by François Pierre and published by . This book was released on 1989 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: PREPARATION DE COUCHES MINCES DE WSI#2 ET MOSI#2 SOUS ULTRAVIDE ET CARACTERISATION PAR SPECTROMETRIE DE PERTES D'ENERGIE D'ELECTRONS LENTS A HAUTE RESOLUTION, SPECTROMETRIE AUGER, DIFFRACTION D'ELECTRONS LENTS, MICROSCOPIE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION ET REFLEXION DIFFRACTION DE RAYONS X, EN FONCTION DU RECOUVREMENT DU SUPPORT DE SI. ANALYSE DES RESULTATS HREELS PAR LA THEORIE DIELECTRIQUE ET L'ANALYSE DE KRAMERS-KRONIG: L'EFFET DU SUPPORT NE SE MANIFESTE QUE POUR LES COUCHES LES PLUS MINCES, QUI SONT EPITAXIQUES ET STCHIOMETRIQUES
Download or read book ELABORATION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURE DE TUNGSTENE OBTENUES PAR PULVERISATION CATHODIQUE SIMPLE ET REACTIVE written by AZEDDINE.. ZERRADE and published by . This book was released on 1985 with total page 152 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LA RECHERCHE DE MATERIAUX PERFORMANTS EN MICROELECTRONIQUE NOUS A CONDUIT A NOUS INTERESSER AUX SILICIURES DES METAUX REFRACTAIRES. DES COUCHES MINCES ONT ETE REALISEES PAR PULVERISATION CATHODIQUE EN MODE R.F. A PARTIR D'UNE CIBLE UNIQUE DE TUNGSTENE OU DE SILICIURE DE TUNGSTENE FRITTEE. ON S'INTERESSE A LA FAIBLE RESISTIVITE DE CES COUCHES ET A LA DIMINUTION DE CELLE-CI APRES TRAITEMENT THERMIQUE. L'ANALYSE DE DEPOTS EST EFFECTUEE PAR DIFFRACTION DE RAYONS X ET RETRODIFFUSION (R.B.S.). LA PULVERISATION REACTIVE A AINSI ETE UTILISEE POUR L'ENRICHISSEMENT DES DEPOTS EN SILICIURE
Download or read book Elaboration et caract risation des siliciures utilis s comme mat riaux de grille ou d interconnexion dans les circuits VLSI written by Isabelle Lombaert and published by . This book was released on 1988 with total page 450 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LA REDUCTION DES DIMENSIONS DES MOTIFS DANS LES CIRCUITS VLSI A ENTRAINE LE REMPLACEMENT PARTIEL DU SILICIUM POLYCRISTALLIN UTILISE COMME MATERIAU DE GRILLE PAR DES SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES OU DE TRANSITION, QUI SONT MOINS RESISTIFS. UNE ETUDE APPROFONDIE A ETE EFFECTUEE SUR LA RESOLUTION EN PROFONDEUR DE LA TECHNIQUE RBS, QUI EST UNE METHODE TRES ADAPTEE A LA CARACTERISATION DES SILICIURES. ENSUITE, DES ANALYSES COMPARATIVES DE CONSTRUCTION ONT ETE REALISEES SUR PLUSIEURS MEMOIRES DRAM COMPORTANT UN SILICIURE. LE SILICIURE DE TITANE, TISI2, A ETE ELABORE PAR TROIS DIFFERENTES TECHNIQUES ET LES PROPRIETES PHYSICO-CHIMIQUES DE CES COUCHES ONT ETE COMPAREES. DES RESISTIVITES DE L'ORDRE DE 13-16 MICRO-OHMS CENTIMETRES ONT ETE OBTENUES PAR CES METHODES DE DEPOT SUIVIES D'UN RECUIT RAPIDE
Download or read book ETUDE DE LA FORMATION DU SLICIURE DE TITANE PAR REACTION DIRECTE INFLUENCE ET REDISTRIBUTION DES DOPANTS written by MERIEM.. BENOUAKTA BERRABAH and published by . This book was released on 1994 with total page 135 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LA PREMIERE PARTIE DE CE TRAVAIL FAIT LE POINT SUR LES METHODES D'ELABORATION AINSI QUE SUR LES PROPRIETES COMPARATIVES DES SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES. IL EN RESSORT QUE LE SILICIURE DE TITANE EST UN MATERIAU DE GRANDE UTILITE POUR LA MICROELECTRONIQUE SILICIUM. LES TECHNIQUES D'ANALYSE MISES EN UVRE SONT DECRITES (SIMS, RBS, RX, TEM) ET S'AVERENT BIEN COMPLEMENTAIRES. L'ACCENT EST MIS SUR L'ANALYSE PAR SIMS QUI FAIT L'OBJET D'UN DEVELOPPEMENT SPECIFIQUE A CETTE ETUDE. LA FORMATION DU SILICIURE DE TITANE PAR REACTION DIRECTE EST UTILISEE POUR DIFFERENTS FOURS ET DIFFERENTES CONDITIONS (ENCAPSULATION OU OXYDATION PARTIELLE); LES TEMPERATURES DE FORMATION SONT COMPATIBLES AVEC LES CONTRAINTES D'UNE TECHNOLOGIE DE TYPE SALICIDE, ET LA COUCHE FORMEE EVOLUE RAPIDEMENT VERS LA COMPOSITION TISI#2. ENFIN, LE ROLE DES DOPANTS PRESENTS DANS LE SILICIUM AINSI QUE LA REDISTRIBUTION SPATIALE, PENDANT ET APRES LA FORMATION DU SILICIURE, SONT ETUDIES
Download or read book Canadian Journal of Physics written by and published by . This book was released on 2007 with total page 856 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Download or read book Metaux refractaires et les siliciures written by Société française du vide and published by . This book was released on with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Download or read book Etude des proprietes de siliciures semiconducteurs en couches minces written by Lyad Ali and published by . This book was released on 1996 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
Download or read book Analytical Tables of Foreign Trade written by European Communities Staff and published by . This book was released on 1988-11 with total page 105 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:
