Download or read book ELLIPSOMETRIE CINETIQUE SUR SUBSTRATS INP DANS UN REACTEUR H V P E REALISATION D UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE POUR LA CARACTERISATION DES HETEROSTRUCTURES written by Younès EL YOUNOUSSI and published by . This book was released on 1991 with total page 316 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ELLIPSOMETRIE EST UNE METHODE OPTIQUE DE CARACTERISATION NON DESTRUCTIVE BASEE SUR LE CHANGEMENT DE POLARISATION DE LA LUMIERE APRES REFLEXION SUR L'ECHANTILLON. POUR CARACTERISER LES HETEROSTRUCTURES MULTICOUCHES A BASE DE SEMICONDUCTEURS III-V: INP, GAINAS ET INAS, NOUS AVONS REALISE UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A ANALYSEUR TOURNANT COMPLETEMENT AUTOMATIQUE PILOTE PAR UN MICRO-ORDINATEUR IBM XT 286. AINSI NOUS AVONS DEVELOPPE UN LOGICIEL PUISSANT QUI PERMET: LE REGLAGE DE L'APPAREIL; LA PRISE DES MESURES ELLIPSOMETRIQUES POUR CHAQUE LONGUEUR D'ONDE; LA MODELISATION DE CES MESURES PAR LA THEORIE; PAR LA METHODE DE MINIMISATION DU GRADIENT CONJUGUE, CONFRONTE LES RESULTATS EXPERIMENTAUX ET THEORIQUES POUR DONNER LES PARAMETRES CARACTERISTIQUES DE CHAQUE COUCHE DE L'HETEROSTRUCTURE MULTICOUCHES: L'EPAISSEUR, LA COMPOSITION ET LES INDICES OPTIQUES. AUSSI NOUS AVONS ETUDIE LE RECUIT THERMIQUE DES SUBSTRATS INP DANS UN REACTEUR D'EPITAXIE DANS LA PHASE VAPEUR PAR LA METHODE DES HYDRURES (H.V.P.E.) DANS TROIS CONDITIONS: SOUS-PHOSPHINE; SOUS-PHOSPHINE/ARSINE; SOUS CHLORURES D'INDIUM. NOUS AVONS DONC OPTIMISE LES CONDITIONS DE MONTEE ET DESCENTE EN TEMPERATURE SANS QUE LE SUBSTRAT NE SE DEGRADE. CES ETUDES ONT ETE MENEES A L'AIDE DE L'ELLIPSOMETRE CINETIQUE MONTE DIRECTEMENT SUR LE REACTEUR

Download or read book ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE APPLICATION A LA CARACTERISATION DE SILICIUM POREUX written by ABDELJALIL.. YASSFY and published by . This book was released on 1996 with total page 131 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ELLIPSOMETRIE EST UNE METHODE OPTIQUE, NON DESTRUCTIVE DE CARACTERISATION DE MATERIAUX. ELLE EST UTILISABLE DANS LE CAS D'HETEROSTRUCTURES OBTENUES SUR DES SUBSTRATS SEMICONDUCTEURS, MAIS NECESSITE UNE MODELISATION. LA VARIATION DES PARAMETRES INTRODUITS DANS LE MODELE, JUSQU'A MINIMISATION D'UNE FONCTION D'ERREUR COMPARANT CE MODELE AUX MESURES REALISEES, CONDUIT A LA CONNAISSANCE DES CONSTANTES DIELECTRIQUES ET DES EPAISSEURS DES DIVERSES COUCHES. NOUS AVONS CHOISI DE METTRE AU POINT UN MINIMISEUR B.F.G.S. AVEC CONTRAINTES PERMETTANT DE LIMITER LA VARIATION DES PARAMETRES DANS DES DOMAINES PHYSIQUEMENT ACCEPTABLES, ET DE CALCULER A L'AIDE D'UN ALGORITHME BASE SUR LA METHODE DE L'ADJOINT LE GRADIENT DE LA FONCTION A COEFFICIENTS COMPLEXES A MINIMISER. LE PROGRAMME INFORMATIQUE EST TESTE SUR DES MODELES SIMULES DE MATERIAUX III-V, SUBSTRAT INP OU PUITS QUANTIQUES INP/INAS/INP. NOUS AVONS UTILISE UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A ANALYSEUR TOURNANT POUR CARACTERISER DES ECHANTILLONS DE SILICIUM POREUX OBTENUS SUR SUBSTRATS DOPES P ET P+. NOS RESULTATS METTENT EN EVIDENCE L'EXISTENCE D'UNE COUCHE TAPISSANT LES PAROIS DES PORES SUR TOUTE L'EPAISSEUR DE LA COUCHE, DANS LE CAS DES SUBSTRATS P. ILS ONT EGALEMENT CONFIRME L'ACTION UNIQUEMENT SUPERFICIELLE D'UN BOMBARDEMENT A L'ARGON SOUS ULTRA-VIDE, ET LA REDUCTION DU SQUELETTE DE SILICIUM CONSECUTIVE AU VIEILLISSEMENT, SURTOUT DANS LE CAS DU SUBSTRAT P

Download or read book R alisation d un syst me automatique d ellipsom trie spectroscopique pour la caract risation de la surface de semiconducteurs compos s III V written by Abdelaziz Bouhassoune and published by . This book was released on 1984 with total page 130 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book Elaboration et exploitation d un banc d ellipsom trie longueur d onde variable pour l tude et la caract risation de capacit s MIS sur compos s III V written by Marc Juvin and published by . This book was released on 1985 with total page 155 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Les processus technologiques de fabrication des structures MIS sur InP, comportent généralement une étape de préparation du substrat, pendant laquelle on observe certaines modifications du matériau. Avec l'ellipsométrie spectroscopique, nous disposons d'un outil de caractérisation, capable d'analyser qualitativement et quantitativement une interface, à travers l'isolant déposé (Al2 O3). L'objet de ce travail est de présenter, après un rapide exposé des principes de base, la mise au point d'un banc automatique d'ellipsométrie spectroscopique, de type polariseur tournant. Une application à l'étude de la passivation de l'InP par un traitement thermique sous pression partielle d'Arsenic, est développée et montre une méthode de dépouillement des spectres à partir d'une modélisation simple à une ou deux couches.

Download or read book CONCEPTION ET REALISATION D UN ELLIPSOMETRE SPECTROSCOPIQUE A MODULATION DE PHASE APPLICATION A L ETUDE D INTERFACES DE MATERIAUX EN COUCHES MINCES written by MICHEL.. STCHAKOVSKY and published by . This book was released on 1991 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'ELLIPSOMETRIE EST UNE METHODE DE CARACTERISATION OPTIQUE TRES REPANDUE. CE TRAVAIL RELATE LA CONCEPTION ET LA REALISATION D'UN NOUVEL ELLIPSOMETRE A MODULATION DE PHASE FONCTIONNANT DANS LE DOMAINE SPECTRAL UV-VISIBLE. IL S'AGIT DU PROTOTYPE DE L'APPAREIL COMMERCIAL UVISEL DE LA SOCIETE JOBIN-YVON. CET ELLIPSOMETRE AUTOMATIQUE COMBINE LA MODULATION HAUTE FREQUENCE PRODUITE PAR UN MODULATEUR PHOTOELASTIQUE A UN TRAITEMENT NUMERIQUE DU SIGNAL PERFORMANT, BASE SUR L'UTILISATION DU MICROPROCESSEUR DSP56001. SON CARACTERE MODULAIRE ET COMPACT EST PARTICULIEREMENT BIEN ADAPTE A LA CARACTERISATION IN SITU DE COUCHES MINCES. L'ELLIPSOMETRE A ETE COUPLE A UN REACTEUR DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR PLASMA RADIOFREQUENCE. DEUX ETUDES PAR ELLIPSOMETRIE SONT APPLIQUEES A: A) LA FORMATION DE SILICIURES DE PALLADIUM, B) LES INTERFACES ENTRE LE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE (A-SI:H) ET LE NITRURE DE SILICIUM (A-SIN#X)

Download or read book ELLIPSOMETRIE SPECTROSCOPIQUE A ANGLE VARIABLE APPLICATIONS A L ETUDE DES PROPRIETES OPTIQUES DE SEMI CONDUCTEURS II VI ET A LA CARACTERISATION DE COUCHES A GRADIENT D INDICE written by MICHEL.. LUTTMANN and published by . This book was released on 1994 with total page 244 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE TRAVAIL APPORTE UNE CONTRIBUTION A LA CARACTERISATION DES COUCHES MINCES PAR ELLIPSOMERIE SPECTROSCOPIQUE A ANGLE VARIABLE. NOUS PRESENTONS LES DIFFERENTES MODIFICATIONS APPORTEES A L'ELLIPSOMETRE D'ORIGINE ET DECRIVONS LES PROCEDURES D'ETALONNAGE UTILISEES. LA REDUCTION DES ERREURS SYSTEMATIQUES ET ALEATOIRES EST EGALEMENT TRAITEE. UNE ETUDE ORIGINALE A ETE MENEE SUR LES DERIVEES PARTIELLES DES ANGLES ELLIPSOMETRIQUES PSI ET DELTA PAR RAPPORT AUX DIFFERENTS PARAMETRES DE L'ECHANTILLON (EPAISSEURS, INDICES, ANGLE D'INCIDENCE). CELLE-CI NOUS A CONDUIT A INTRODUIRE LE CONCEPT DE SENSIBILITE INTEGRALE RELATIVE (SIR) QUI S'EST AVERE TRES UTILE POUR LOCALISER LES ZONES ANGULAIRES LES PLUS INTERESSANTES ET POUR COMPARER ENTRE ELLES LES SENSIBILITES DE LA MESURE ELLIPSOMETRIQUE AUX DIVERS PARAMETRES DE L'ECHANTILLON. L'INTERET DE MESURES SPECTROSCOPIQUES A PLUSIEURS ANGLES D'INCIDENCE EST DISCUTE. DEUX APPLICATIONS PRINCIPALES ONT ETE TRAITEES DANS CE MEMOIRE: LA PREMIERE CONCERNE LA MESURE DES INDICES DE SEMI-CONDUCTEURS II-VI A GRANDS GAPS. L'ETUDE REALISEE PORTE SUR DES SUBSTRATS MASSIFS DE CDMNTE ET SUR DES COUCHES EPITAXIEES DE CDMGTE. UNE LOI D'INDICE PERMETTANT DE DECRIRE LE COMPORTEMENT DE LA FONCTION DIELECTRIQUE DU CDMGTE SUR L'ENSEMBLE DU DOMAINE SPECTRAL EST PROPOSEE. DANS LA ZONE TRANSPARENTE, DEUX LOIS DE SELLMEIER DONNANT LES INDICES DU CDMNTE ET DU CDMGTE POUR TOUTE CONCENTRATION DE MANGANESE OU DE MAGNESIUM, ONT ETE ETABLIES. LA SECONDE PORTE SUR LA CARACTERISATION DE COUCHES A GRADIENT D'INDICE. UNE METHODE PERMETTANT D'ANALYSER DES COUCHES DE PROFIL D'INDICE A PRIORI QUELCONQUE EST PROPOSEE. ELLE A ETE VALIDEE SUR DES COUCHES INHOMOGENES DE GAALAS ET D'OXY-NITRURE DE SILICIUM. L'ELLIPSOMETRIE S'EST REVELEE ETRE UNE TECHNIQUE BIEN ADAPTEE A CE TYPE DE CARACTERISATION PUISQUE DES PROFILS POLYNOMIAUX DU QUATRIEME DEGRE ONT PU ETRE MIS EN EVIDENCE SUR DES COUCHES D'OXY-NITRURE DE SILICIUM A FORT GRADIENT D'INDICE

Download or read book Ellipsom trie spectroscopique conventionnelle et g n ralis e de milieux anisotropes written by Aotmane En Naciri and published by . This book was released on 1999 with total page 336 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Le travail présenté dans cette thèse est consacré au développement et à l'application de techniques d'ellipsométrie conventionnelle et généralisée pour la caractérisation de milieux anisotropes. Dans la première partie sont exposés les principaux résultats de la théorie électromagnétique des milieux anisotropes et la méthode de calcul des coefficients de réflexion à l'interface d'un milieu anisotrope uniaxe arbitraire. La seconde partie, est consacrée à l'adaptation de l'ellipsomètre à polariseur tournant à trois éléments (PRPSE) à la mesure d'échantillons anisotropes. La troisième partie est dédiée à l'extension de l'ellipsomètre (PRPSE) à l'ellipsométrie généralisée pour déterminer totalement la matrice de Jones comportant des éléments non diagonaux différents de zéro. Les outils logiciels et les procédures expérimentales permettant de remonter aux caractéristiques optiques de la surface d'un échantillon anisotrope ont été réalisés. L'application de ces deux techniques a été consacrée aux mesures d'indices principaux de réfraction complexes ordinaire et extraordinaire de l'iodure mercurique HgI2. L'évolution d'état de surface de HgI2 en fonction du temps a été analysée par l'ellipsomètre PRPSE

Download or read book Ellipsometrie spectroscopique a modulation de phase construction de l appareillage et application a la caracterisation des substrats Si et Gabs et des written by Keltoume Belalia and published by . This book was released on 1991 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book R alisation d un syst me automatique d llipsom trie specroscopique pour la caract risation de la surface de semiconducteurs compos s III V written by Abdelaziz Bouhassoune and published by . This book was released on 1984 with total page 139 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: MISE AU POINT D'UN ELLIPSOMETRE AUTOMATIQUE SPECTROSCOPIQUE A POLARISEUR TOURNANT POUR ETUDIER L'EFFET D'UN TRAITEMENT DE SURFACE. APPLICATION A SI ET A INP