Download or read book OBTENTION ET ETUDE DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES written by ANNE.. BOUTEVILLE RICHARD and published by . This book was released on 1987 with total page 152 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LES COUCHES MINCES DE SILICIURES DE METAUX REFRACTAIRES SONT UTILISES EN MICROELECTRONIQUE. LE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR PERMET UN EXCELLENT RECOUVREMENT DE MARCHE ET LA POSSIBILITE DE DEPOT SELECTIF. CETTE ETUDE TRAITE DE L'OBTENTION PAR CETTE METHODE A BASSE PRESSION DE COUCHES MINCES DE SILICIURES DE TA ET DE TI ET DE LEUR ETUDE. MISE AU POINT DU PROCEDE, INFLUENCE D'UN TRAITEMENT DE RECUIT ET ETUDE DU MECANISME DE CROISSANCE