Download or read book Classification par r seaux de neurones dans le cadre de la scatt rom trie ellipsom trique written by Sabit Fawzi Philippe Zaki and published by . This book was released on 2016 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: La miniaturisation des composants impose à l'industrie de la micro-électronique de trouver des techniques de caractérisation fiables rapides et si possible à moindre coût. Les méthodes optiques telles que la scattérométrie se présentent aujourd'hui comme des alternatives prometteuses répondant à cette problématique de caractérisation. Toutefois, l'ensemble des méthodes scattérométriques nécessitent un certain nombre d'hypothèses pour assurer la résolution d'un problème inverse et notamment la connaissance de la forme géométrique de la structure à tester. Le modèle de structure supposé conditionne la qualité même de la caractérisation. Dans cette thèse, nous proposons l'utilisation des réseaux de neurones comme outils d'aide à la décision en amont de toute méthode de caractérisation. Nous avons validé l'utilisation des réseaux de neurones dans le cadre de la reconnaissance des formes géométriques de l'échantillon à tester par la signature optique utilisée dans toute étape de caractérisation scattérométrique. Tout d'abord, le cas d'un défaut lithographique particulier lié à la présence d'une couche résiduelle de résine au fond des sillons est étudié. Ensuite, nous effectuons une analyse de détection de défaut de modèle utilisé dans la résolution du problème inverse. Enfin nous relatons les résultats obtenus dans le cadre de la sélection de modèles géométriques par réseaux de neurones en amont d'un processus classique de caractérisation scattérométrique. Ce travail de thèse a montré que les réseaux de neurones peuvent bien répondre à la problématique de classification en scattérométrie ellipsométrique et que l'utilisation de ces derniers peut améliorer cette technique optique de caractérisation.