Download or read book ANALYSE DE CIRCUITS INTEGRES PAR MICROSCOPIE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION written by SOPHIE.. DUZELLIER and published by . This book was released on 1989 with total page pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: CE MEMOIRE TRAITE DE L'UTILISATION DE LA MICROSCOPIE ELECTRONIQUE EN TRANSMISSION DANS L'ANALYSE DES CIRCUITS INTEGRES AFIN DE SOLUTIONNER LES PROBLEMES DE CONTROLE DE QUALITE QUI SE POSENT SUR LES DISPOSITIFS HAUTEMENT INTEGRES. L'ENSEMBLE DE CETTE ETUDE EST BASEE SUR L'OBSERVATION DE TRANCHES DE CIRCUITS, OU DISPOSITIFS DE TESTS, PERMETTANT AINSI LA VISUALISATION DES DIFFERENTS NIVEAUX METALLURGIQUES ET DE LEURS INTERFACES. LA MISE EN UVRE D'ANALYSES DE CONSTRUCTION, SUR PRODUITS FINIS, A PERMIS UNE MESURE PRECISE DES PARAMETRES TECHNOLOGIQUES AVEC UNE PRECISION DE 1 NM. DANS UN DEUXIEME TEMPS, L'ETUDE PORTANT SUR LE CONTROLE DU PROCEDE D'ELABORATION DES COUCHES D'OXYDES MINCES (30-100 A) NOUS A PERMIS D'OPTIMISER L'ETAPE DE NETTOYAGE DU SILICIUM AVANT L'OXYDATION THERMIQUE. LA VISUALISATION DE CETTE COUCHE, EN MODE HAUTE RESOLUTION, SELON LE PLAN VERTICAL NOUS A PERMIS D'APPRECIER LA RUGOSITE DE L'INTERFACE SILICE/SUBSTRAT DE SILICIUM, DE MESURER PRECISEMENT L'EPAISSEUR DU DIELECTRIQUE ET DE MONTRER L'INFLUENCE DU METAL DE GRILLE SUR CE DERNIER PARAMETRE

Download or read book Liaison d un outil de description des circuits int gr s un microscope lectronique balayage written by Isabelle Guiguet and published by . This book was released on 1985 with total page 145 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Lors de la mise au point de Circuits Intégrés (CI) prototypes, le concepteur peut conduire deux types d'analyse : une analyse externe (comportement du circuit à travers ses plots d'entrée/sortie), une analyse interne (fonctionnement des CI par prélèvement de valeurs logique et électrique en divers points internes du circuit au niveau des composants). L'analyse de points internes du CI peut être effectuée à l'aide d'un microscope électronique à balayage. La première partie de ce rapport décrira un microscope électronique à balayage, le chapitre suivant présentera l'outil de test organisé autour de cet appareil. Dans la troisième partie, le langage de description de circuits CALMA sera décrit. La quatrième partie présentera les méthodes utilisables pour mettre au point des circuits prototypes. Enfin, les deux derniers chapitres seront consacrés au travail effectué, en décrivant, respectivement les programmes implantés et les différents tests réalisés

Download or read book Projet ACIME written by Jacques Laurent and published by . This book was released on 1984 with total page 106 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: L'accroissement de la densité d'intégration des circuits intégrés exige des moyens de contrôle d'une extrème précision. La microscopie électronique à balayage en contraste de potentiel convient particulièrement. La thèse présente tous les aspects: organisation, observabilité, méthodes d'observation, modes de traitement et les applications à la mise au point de circuits prototypes, l'analyse des défaillances, le contrôle de qualité, la recherche des limites de fonctionnement, la restructuration. Discussion de la nécessité du développement de méthodologies d'utilisation

Download or read book La m trologie des circuits int gr s par microscopie lectronique written by Jean-Luc Bataillon and published by . This book was released on 1990 with total page 198 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: LE MEMOIRE TRAITE DES PROBLEMES RENCONTRES LORS DE L'UTILISATION DE LA MICROSCOPIE ELECTRONIQUE A BALAYAGE POUR EFFECTUER LES CONTROLES DIMENSIONNELS AU COURS DE LA FABRICATION DES CIRCUITS INTEGRES VLSI. L'EVENTAIL DES TECHNIQUES DE METROLOGIE EST PRESENTE EN PREAMBULE DE CETTE ETUDE. UNE ETUDE QUANTITATIVE DE LA RESOLUTION DU MEB A ETE DEVELOPPEE A L'AIDE DES TECHNIQUES DE L'ANALYSE SPECTRALE AFIN D'EVALUER LES VARIATIONS DES PERFORMANCES INSTRUMENTALES EN FONCTION DE LA TENSION D'ACCELERATION ET DU COURANT DE FAISCEAU. POUR CONNAITRE LE BIAIS ENTRE LA DIMENSION MESUREE ET LA LARGEUR EXACTE, UNE NOUVELLE TECHNIQUE DE RECONNAISSANCE TOPOGRAPHIQUE DES TRAITS CLIVES A ETE MISE AU POINT SUR LE MEB DE METROLOGIE. ON DETERMINE AINSI AVEC UNE PRECISION MESURABLE LE PROFIL GEOMETRIQUE DES TRAITS. LA METHODE DE MESURE DIMENSIONNELLE RETENUE EST L'ESTIMATION PAR AUTOCORRELATION DU PROFIL ELECTRONIQUE FILTRE. CET ESTIMATEUR EST VALIDE SUR LE PLAN DE LA FIABILITE ET DE LA REPETABILITE PAR UNE ETUDE EXPERIMENTALE APPROFONDIE. LA JUSTESSE DES RESULTATS EST ASSUREE GRACE A LA CALIBRATION D'UNE PLAQUETTE REPRESENTATIVE DU NIVEAU MESURE. LES DEUX METHODES MISES EN UVRE POUR DETERMINER LES CONDITIONS EXPERIMENTALES OPTIMALES, LA COMPARAISON DES MESURES DE TRAITS ISOLANTS ET CONDUCTEURS, ET LA MINIMISATION DE LA DISPERSION DES COURBES DE CALIBRATION, S'ACCORDENT SUR LE CHOIX DES TENSIONS D'ACCELERATION INFERIEURES A 1,2 KVOLT

Download or read book Correction et traitement d images des circuits VLSI issues d un microscope lectronique balayage written by Alireza Zolghadrasli and published by . This book was released on 1985 with total page 114 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: aLa croissance de la complexité des Circuits Intégrés (CI) conduit à rechercher de nouveaux outils pour la mise au point de CI prototypes. La possibilité de «voir travailler» un circuit en utilisant un Microscopie Electronique à Balayage (MEB) exploité en mode de contraste de potentiel semble être une (la) solution possible. Ce contexte permet en effet de relever les états logiques et électriques au niveau des composants internes (transistors). Les zones à analyser sont choisies par le concepteur, soit sur l'image observée soit à partir de sa description issue des outils de CAO. Dans ce cadre sont présentés ici: le contexte des travaux: l'outil d'Analyse des CI par Microscopie Electronique; l'étude des déformations géométriques et optiques des images obtenues; une proposition de solution en vue de permettre une corrélation entre l'image des circuits et leur description

Download or read book Etude de circuits int gr s par contraste de potentiel written by Philippe Perdu and published by . This book was released on 1994 with total page 490 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: NOUS UTILISONS LE CONTRASTE DE POTENTIEL LORS DE L'ANALYSE DE DEFAILLANCE DE CIRCUITS INTEGRES. CE CONTRASTE RESULTE DE L'OBSERVATION D'UN CIRCUIT INTEGRE EN FONCTIONNEMENT DANS UN MICROSCOPE ELECTRONIQUE A BALAYAGE. LE RELEVE DE TENSIONS CONTINUES EST PERTURBE PAR L'ACCUMULATION DE CHARGES POSITIVES DANS LA COUCHE DE PASSIVATION DES CIRCUITS INTEGRES. L'ANALYSE DE CE PHENOMENE DE CHARGE, MONTRE LES LIMITES DU MODELE DE LA BARRIERE DE POTENTIEL. NOUS AVONS ETABLI UN MODELE ELECTROSTATIQUE BASE SUR LE CALCUL DU CHAMP ELECTRIQUE EN TOUT POINT DE L'ISOLANT ET DE LA CHAMBRE DU MICROSCOPE. PAR SES EFFETS SUR LA TRAJECTOIRE DES ELECTRONS SECONDAIRES, CE CHAMP MODIFIE LE SPECTRE ET LE TAUX DE REEMISSION. LES VALEURS THEORIQUES OBTENUES CORRESPONDENT AUX VALEURS EXPERIMENTALES ET MONTRENT QU'UN CONTRASTE DE POTENTIEL STATIQUE PEUT ETRE RELEVE SI LA COUCHE DE PASSIVATION EST RECOUVERTE D'UNE COUCHE CONDUCTRICE. LE SONT DES SOLUTIONS POSSIBLES POUR ELIMINER CETTE CHARGE, NOUS POUVONS GRAVER LA COUCHE DE PASSIVATION OU LA COUVRIR D'UNE COUCHE ANTISTATIQUE. LA GRAVURE SECHE, MOINS RISQUEE QUE LA GRAVURE PAR VOIE HUMIDE, PEUT INDUIRE DES DERIVES PARAMETRIQUES, FORMER DES TRANCHEES ET GRAVER DES JOINTS DE GRAIN. LE DEPOT DE LIQUIDE PRESENTE UNE FAIBLE REPRODUCTIBILITE, UN EFFET LIMITE DANS LE TEMPS ET UNE POLLUTION DU CIRCUIT. LES DEPOTS DE CARBONE PAR EVAPORATION SONT REPRODUCTIBLES, UNIFORMES ET OPTIMISABLES. ILS N'ALTERENT NI LE CIRCUIT NI SON COMPORTEMENT ELECTRIQUE. ILS NE SONT PAS EFFICACES DANS TOUS LES CAS. A L'AIDE DE TROIS PLANS D'EXPERIENCES, L'ETUDE DES CONSEQUENCES DES TECHNIQUES DE PREPARATION SUR LA SENSIBILITE DU COMPOSANT A L'IRRADIATION CAUSEE PAR LE FAISCEAU D'ELECTRONS PRIMAIRES MONTRE QUE LES CIRCUITS GRAVES SONT LES PLUS SENSIBLES

Download or read book Nouvelles perspectives de m trologie dimensionnelle par imagerie de microscope lectronique pour le contr le de la variabilit des proc d s de fabrication des circuits int gr s written by Amine Lakcher and published by . This book was released on 2018 with total page 0 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Dans les noeuds technologiques avancés ainsi que les technologies dérivées, des règles de dessin de plus en plus aggressives sont nécessaires. Cela conduit à une complexification des structures dans les circuits intégrés actuels. De telles structures posent un défi important aux procédés de fabrication, notamment les étapes dites de patterning que sont la lithographie et la gravure. Afin d'améliorer et d'optimiser ces structures, les designers se basent sur les règles et connaissances qu'ont les ingénieurs de leurs procédés. Ces règles ont besoin d'être alimentées par des informations dimensionnelles et structurelles de plus en plus complexes : configurations de type bord arrondi, distance entre deux bouts de lignes, rétrecissement de ligne, etc. La métrologie doit évoluer afin que les ingénieurs soient capables de mesurer et quantifier les dimensions des structures les plus complexes dans le but d'estimer la variabilité de leur procédé. Actuellement la variabilité est principalement estimée à partir de données issues du suivi en ligne de structures simples car elles sont les seules à garantir une mesure robuste et reproductible. Mais, elles peuvent difficilement être considérées comme représentatives du procédé ou du circuit. Utiliser la métrologie par CD-SEM pour mesurer des structures complexes de manière robuste est un défi technique. La création de recettes de mesures est complexe, nécessite un temps non négligeable et ne garantit pas une mesure stable. Cependant, une quantité importante d'informations est contenue dans l'image SEM. Les outils d'analyses fournis par les équipementiers permettent aujourd'hui d'extraire les contours SEM d'une structure présente dans l'image. Ainsi, le CD-SEM prend des images et la partie métrologie est réalisée hors ligne afin d'estimer la variabilité. Cette thèse vise à proposer aux ingénieurs de nouvelles possibilités de métrologie dimensionnelle afin de l'appliquer pour le contrôle des structures les plus complexes. Les contours SEM sont utilisés comme source d'information et exploités pour générer de nouvelles métriques.

Download or read book Government Reports Announcements Index written by and published by . This book was released on 1987 with total page 794 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book Acta electronica written by and published by . This book was released on 1984 with total page 300 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book Routledge French Technical Dictionary Dictionnaire technique anglais written by Yves Arden and published by Routledge. This book was released on 2013-01-11 with total page 866 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The French-English volume of this highly acclaimed set consists of some 100,000 keywords in both French and English, drawn from the whole range of modern applied science and technical terminology. Covers over 70 subject areas, from engineering and chemistry to packaging, transportation, data processing and much more.

Download or read book Government Reports Annual Index written by and published by . This book was released on 1987 with total page 1256 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Sections 1-2. Keyword Index.--Section 3. Personal author index.--Section 4. Corporate author index.-- Section 5. Contract/grant number index, NTIS order/report number index 1-E.--Section 6. NTIS order/report number index F-Z.

Download or read book Physics Briefs written by and published by . This book was released on 1994 with total page 1256 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book Avalanche Transit time Devices written by George I. Haddad and published by Modern Frontiers in Applied Sc. This book was released on 1973 with total page 608 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book Government Reports Annual Index Keyword A L written by and published by . This book was released on 1987 with total page 1260 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt:

Download or read book ICREEC 2019 written by Ahmed Belasri and published by Springer Nature. This book was released on 2020-06-10 with total page 659 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: This book highlights peer reviewed articles from the 1st International Conference on Renewable Energy and Energy Conversion, ICREEC 2019, held at Oran in Algeria. It presents recent advances, brings together researchers and professionals in the area and presents a platform to exchange ideas and establish opportunities for a sustainable future. Topics covered in this proceedings, but not limited to, are photovoltaic systems, bioenergy, laser and plasma technology, fluid and flow for energy, software for energy and impact of energy on the environment.

Download or read book Molecular Beam Epitaxy written by John Wilfred Orton and published by . This book was released on 2015 with total page 529 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: The book is a history of Molecular Beam Epitaxy (MBE) as applied to the growth of semiconductor thin films (note that it does not cover the subject of metal thin films). It begins by examining the origins of MBE, first of all looking at the nature of molecular beams and considering their application to fundamental physics, to the development of nuclear magnetic resonance and to the invention of the microwave MASER. It shows how molecular beams of silane (SiH4) were used to study the nucleation of silicon films on a silicon substrate and how such studies were extended to compound semiconductors such as GaAs. From such surface studies in ultra-high vacuum the technique developed into a method of growing high quality single crystal films of a wide range of semiconductors. Comparing this with earlier evaporation methods of deposition and with other epitaxial deposition methods such as liquid phase and vapour phase epitaxy (LPE and VPE). The text describes the development of MBE machines from the early 'home-made' variety to that of commercial equipment and show how MBE was gradually refined to produce high quality films with atomic dimensions. This was much aided by the use of various in-situ surface analysis techniques, such as reflection high energy electron diffraction (RHEED) and mass spectrometry, a feature unique to MBE. It looks at various modified versions of the basic MBE process, then proceed to describe their application to the growth of so-called 'low-dimensional structures' (LDS) based on ultra-thin heterostructure films with thickness of order a few molecular monolayers. Further chapters cover the growth of a wide range of different compounds and describe their application to fundamental physics and to the fabrication of electronic and opto-electronic devices. The authors study the historical development of all these aspects and emphasise both the (often unexpected) manner of their discovery and development and the unique features which MBE brings to the growth of extremely complex structures with monolayer accuracy.

Download or read book Terra 2008 written by Leslie Rainer and published by Getty Publications. This book was released on 2011-06-14 with total page 438 pages. Available in PDF, EPUB and Kindle. Book excerpt: Earthen architecture constitutes one of the most diverse forms of cultural heritage and one of the most challenging to preserve. It dates from all periods and is found on all continents but is particularly prevalent in Africa, where it has been a building tradition for centuries. Sites range from ancestral cities in Mali to the palaces of Abomey in Benin, from monuments and mosques in Iran and Buddhist temples on the Silk Road to Spanish missions in California. This volume's sixty-four papers address such themes as earthen architecture in Mali, the conservation of living sites, local knowledge systems and intangible aspects, seismic and other natural forces, the conservation and management of archaeological sites, research advances, and training.